SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀，同時不影響先進測量性能。

可變?nèi)肷浣?/strong>

光譜橢偏儀SENpro包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔嫞?0°—90°，步進值5°，用于優(yōu)化橢偏測量。

步進掃描分析器

SENpro具有步進掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過程中，偏振器和補償器固定，以提供高的橢偏測量精度。

光譜橢偏儀SENpro具有操作簡單，測量速度快，能對不同入射角的橢偏測量數(shù)據(jù)進行組合分析等特點。光譜范圍為370到1050 nm。SENpro的光譜范圍與精密的SpectraRay/4軟件相結(jié)合，可以輕易地確定單層膜和復(fù)合層疊膜的厚度和折射率。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學，5°步進角度計，樣品臺、激光準直器、光纖耦合穩(wěn)定光源和探測器單元。SENpro配備了用于系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ，用于包括建模，擬合和報告輸出。即使對于初學者，該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計算機控制的用于均勻性測量的自動掃描。

SENpro專注于薄膜測量的速度和精度，不管是何種薄膜應(yīng)用。測量范圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。

對于各種各樣的應(yīng)用，SpectraRay/4都提供了預(yù)定義的配方。