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結合橢偏反射性能優(yōu)異的多角度手動角度計和角度精度*的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

多角度激光橢偏儀性能優(yōu)異的多角度手動角度計和角度精度*的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

激光橢偏儀SE 800 PV是分析結晶和多晶硅太陽能電池防反射膜的理想工具?？梢詼y量單層薄膜(SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3)和多層疊層膜(SiNX/SiO2、SiNx1/SiNx2、SiNx/Al2O3)。

激光橢偏儀 多角度SE 400adv PV在632.8nm的氦氖激光波長下，在紋理化的單晶和多晶硅片上提供防反射單膜的膜厚和折射率。可更換的晶片載片器允許對多晶晶片和堿性織構的單晶晶片進行測量。

激光橢偏儀 SE 400adv可用于從可選擇的、應用特定的入射角度表征單層薄膜和基片。自動準直透鏡確保在大多數(shù)平坦反射表面的吸收或透明襯底上進行準確測量。多角度測量的集成支持(40°—90°,5°步進)，可用于確定層疊的厚度、折射率和消光系數(shù)。為了補償激光橢偏測量中厚度測量的模糊性，在厚度測量中也采用了多角度測量。